JJG 644-2003 振动位移传感器 检定规程

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1、汀 冰 场 中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 振动位移传感器 V i b r a t i o n D i s p l a c e m e n t T r a n s d u c e r 2 0 0 3 一0 9一 2 3 发布2 0 0 4 一 0 3 一 2 3实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发布 J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 几.六.八川J.八.扒. 振动位移传感器检定规程 广 。. O . 口.O. O.O. O.O. O . O. O . O.O. O . V e r i f i c a t i o n R e

2、 g u l a t i o n o f J J G 6 4 4 -2 0 0 3 代替 J J G 6 4 4 -1 9 9 0 、. . . . . . . . . . . . . . . . . . V i b r a t i o n D i s p l a c e m e n t T r a n s d u c e r 本规程经国家质量监督 检验检疫总局 2 0 0 3年 0 9月 2 3日批准，并 自 2 0 0 4 年 0 3 月 2 3日 起施行。 归口单位 : 主要起草单位 : 参加起草单位 : 全国振动冲击转速计量技术委员会 北京市计量科学研究所 航空工业总公司第 3 0 4

3、 研究所 湖北省计量测试技术研究院 本规程委托全国振动冲击转速计量技术委员会负责解释 J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 本规程主要起草人 : 何伟 李学瑞 参加起草人: ( 北京市计量科学研究所) ( 北京市计量科学研究所) ( 航空工业总公司第 3 0 4 研究所) ( 湖北省计量测试技术研究院) J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 目录 1 范围 ( 1 ) 2 引用文献 ( 1 ) 3 概述 ( 1 ) 4 计量性能要求 ( 1 ) 5 通用技术要求 ( 1 ) 5 . 1 外观及附件 ， ( 1 ) 5 . 2 生产厂应给出的技术指标 ( 2 ) 5 . 3 传感器环

4、境适应性 ( 3 ) 6 计量器具控制 ( 3 ) 6 . 1 定型鉴定或样机试验 ( 3 ) 6 . 2 首次检定、后续检定和使用中的检验 ( 3) 6 . 3 检定结果处理 ( 7 ) 6 . 4 检定周期 ( 7) 附录 A 定型鉴定、样机试验方法 ( 8) 附录 B 检定证书内页格式 ( 9) 附录 C 检定结果通知书内页格式 ( 1 0 ) J J G 6 4 4 -2 0 0 3 振动位移传感器检定规程 范 围 本规程适用于 ( 0 - - 5 0 0 0 ) H z 频率范围内的用于机械振动测量的电感式、电容式及 电阻式的位移传感器 ( 以下简称传感器)的定型鉴定、样机试验、首次

5、检定、后续检定 和使用中的检验。 2 引用文献 G B / T 2 2 9 8 -1 9 9 1机械振动与冲击术语 G B / T 1 3 8 6 6 -1 9 9 2振动与冲击测量描述惯性式传感器特性的规定 G B / T 1 3 8 2 3 . 1 -1 9 9 3振动与冲击传感器的校准方法基本概念 G B / T 1 3 8 2 3 . 3 -1 9 9 2振动与冲击传感器的校准方法 正弦激励比较法校准 ( 二次校准) G B / T 1 3 8 2 3 . 1 6 -1 9 9 5 振动与冲击传感器的校准方法 温度响应比较测试法 J J G 2 0 5 4 -1 9 9 0振动计量器具

6、计量检定系统 J J F 1 0 1 5 -2 0 0 2计量器具型式评价和型式批准通用规范 J J F 1 0 1 6 -2 0 0 2计量器具型式评价大纲编写导则 J B / T 9 2 5 6 -1 9 9 9电感位移传感器 J B / T 9 2 5 7 -1 9 9 9交流差动变压器式位移传感器 J B / T 9 2 5 8 -1 9 9 9直流差动变压器 式位移传感器 J B / T 9 3 2 9 -1 9 9 9仪器仪表运输 、运输存储基本环境条件及试验方法 使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3概述 振动位移传感器是位移测量仪的主要组成部分，主要用于机械振

7、动测量，它利用电 感、电容或电阻量的变化将机械振动的位移量转变成电压或电流的变化量，用来测量振 动位移 。 4 计1t性能要求 振动位移传感器的计量性能要求见表 t o 5 通用技术要求 5 . 1 外观及附件 5 . 1 . 1 传感器产品的外壳上应有铭牌，标明产品名称、规格型号、制造厂家、出厂日 期及编号，并应标有迈互标志及其编号。 J J G 6 4 4 -2 0 0 3 表 1 振动位移传感器 的计量性能要求 it 电感式 电容式 电阻式 差 动电感 式 差动变压器式 电涡流式应变式 电阻式 静 态 指 标 1 灵敏度校准的 不确定度 1 . 0 % ( k二 z ) 2 幅值线性度/

8、 % 士0. 5 l o m m量程以 下 士2. 0 ; l O m m量程以 上 ,5. 0 t 1 . 0f 1 . 0 3 回程误 差/ % 0 . 40 . 5 4 幅值重复性/ % 0 . 41 . 0 1 . 0 0 . 5 5 零值误差/ % 1 . 0 0 . 5 0. 20 . 1 6 温漂/( % ) 0 . 0 60 . 10. 60 . 5 7 幅值稳定度 0 . 5% 动 态 指 标 8 参考灵敏度校准 的不确定度 3 . 0 % ( k 二 2 ) 9 频率响应 ( 0一 2 0 ) H z 或 ( 0 一2 0 0 ) H z RIB ( 0 一5 0 0 0

9、) H z 0 . 5 d B ( 0 一 5 0 0 0 ) H z 3 d B ( 0 一 2 0 0 0 ) H z 3 d B ( 0 一1 0 0 ) H z 3 d B 1 0 幅值线性度 1 1 0% 5 . 1 . 2 新制造的传感器外壳表面的金属镀层或其他化学处理层不应有划痕和脱落现象。 5 . 1 . 3 传感器的输出导线及各连接部件应配套齐全、 完好、 可靠。 5 . 2 生产厂应给出的 技术指标 传感器生产厂家应给出传感器的其他技术指标，如:线性范围、绝缘电阻、绝缘强 度、输出负载能力、重量、外形尺寸及安装方式。 J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 5 . 3

10、传感器环境适应性 5 . 3 . 1 传感器正常工作环境 : 温度:在生产厂规定的温度范围内使用。 湿度:_8 5 %R H . 周围无强磁场、无腐蚀性气液体 、无强振源。 5 . 3 . 2 环境适应性试验要求 环境试验应符合J B I T 9 3 2 9 -1 9 9 9 仪器仪表运输、运输存储基本环境条件及试验方 法第 3 条中湿度试验和跌落试验的要求。 湿度试验:9 5 %R H ( 2 5 9 : ; ) ; 跌落试验:l 0 0 m m高度自由跌落。 6、 计t器具控制 计量器具控制包括:定型鉴定或样机试验、首次检定、后续检定和使用中检验。 6 . 1 定型鉴定或样机试验 6 .

11、1 . 1 定型鉴定或样机试验应按 J J F 1 0 1 5 -2 0 0 2 计量器具型式评价和型式批准通用规 范和 J J F 1 0 1 6 -2 0 0 2 计量器具型式评价大纲编写导则的有关要求进行。 6 . 1 . 2 定型鉴定和样机试验的项 目 见表2 0 6 . 1 . 3 定型鉴定和样机试验的方法见附录 A o 6 . 2 首次检定 、后续检定和使用中的检验 6 . 2 . 1 检定条件 6 . 2 . 1 . 1 环境条件 1 )温度:( 2 0 士 5 ) 9 C o 2 )湿度:X8 5 %R H o 3 )电源电压波动量不应超过额定值的 士 1 0 %. 4 )检定

12、现场应无强振源、强磁场的干扰及腐蚀性气、液体。 6 . 2 . 1 . 2 检定用仪器设备 可以根据不同类型的被检传感器的种类和型号来选择下列检定用仪器设备。 1 )静态标定用仪器设备: 位移 ( 长度)测量仪器: 三等标准量块: 测量不确定度为 ( 0 . 1 十 I L ) 1 e m ( k = 3 ) ; 四等标准量块: 测量不确定度为 ( 0 . 2 + 2 L ) fL m ( k = 3 ) ; 千分表:( 0 - 5 ) m m ， 示值误差:土 5 fc m ; 百分表:( 0 一 1 0 ) m m ， 示值误差:士 2 0 m ; ( 0 一 2 5 ) m m ， 示值

13、误差:t 3 0 K m ; 位移静校器:( 0 一 1 0 ) m m或 ( 0 一 3 0 ) m m ; 直流 数字电压表: 测量不确定度为0 . 1 % ( k = 2 ) ; 示波器 :示值误差 士 5 %; 直流稳压电源:电压稳定度 士 0 . 1 %，纹波电压 1 m v o J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 2 )动态标定用仪器设备: 标准振动台: 加速度波形失真度- 5 %; 横向振动比1 0 % ; 加速度幅值稳定度- : 0 . 5 %; 信噪比 6 0 d B ; 台面漏磁, 3 m T o 标准加速度计套组: 参考灵敏度校准不确定度: 在 1 6 0 H z

14、 或 8 0 H : 时，为 0 . 5 % ( k = 3 ) ; 在 ( 2 0 一 1 0 0 0 ) H z 频率范围时，为 1 . 0 % ( k= 3 ) ; 交流数字电压表 :测量不确定度为0 . 2 % ( k = 2 ) ; 数字频率计: 测量不确定度为0 . 0 5 % ( k = 2 ) o 3 )温箱 :温度范围:( 一 4 0 - 2 0 0 ) C ,温度波动度 :士 0 . 5 C ; 温度均匀度 :士2 1C o 6 . 2 . 2 检定项 目 及检定方法 首次检定、后续检定和使用中检验的检定项目见表 2 0 表2 定型鉴定或样机试验、首次检定、后续检定和使用中

15、检验的检定项目 序号项目 定型鉴定或 样 机试验 首次检定后续检定使用中的检验 1外观 +十十 2 静 态 指 标 灵 敏度 +十十 幅值线性度 +十十3 4 回程误差 + 5 幅值重复性 + 零 值误差 +十6 温漂 +7 8 幅值稳定度 十 9 动 态 指 标 参考灵敏度 + 1 0 频率 响应 十+十 幅值线性度 +十+11 1 2线性范 围+ 1 3绝缘 电阻+ 1 4绝缘强度+ 1 5 环境适应性试验 + 表中带 “ +”者为必须检定或试验的项目，“ 一”为不需要检定或试验的项目。 6 . 2 . 2 . 1 外观及附件的检查 J J G 6 4 4 -2 0 0 3 外观、铭牌及各

16、种连接部件等通过目测进行检查，检查结果应符合本规程第 5 . 1 条 的要求。 6 . 2 . 2 . 2 静态灵敏度的检定 把位移传感器安装在相应的位移静校器上，改变传感器的测量距离以每 1 0 %量程 为 1 个测量点，在整个测量范围内，包括上、下限值共测 1 1 个点，顺序在各个测量点 测 量传感器的 输出 值 U和传感器的移动距离L，以上、 下两个行程为一个测量循环， 一共测 3 个循环。 将检定数据中 1 0 %到 9 0 %量程的上、下行程各 9 个检测点的数据取为 1 组，共取 3 组，采用最小二乘法计算。 设 回归方程为 右 ; =U o + S L ; ( 1 ) 式中:S

17、位移传感器灵敏度; U o 截距; L 给定位移 ( 测量位移) ; C / 传感器输出信号的回 归值。 根据给定位移 L和传感器相应的输出值 认，按最小二乘法公式计算出 S : 2 艺 U , : 全 乙 艺 L ; U ; 2 全 L ; 队 L 艺阁 全 : : 。 ; L ; ( 2 ) 客 L z ( 3 ) 式中:n 检测次数 ( i = 1 , 乙 给定位移量平均值( 、 = 生 女: I t 二 育 U - A 4i 5 7值 U 二 告 客 。 )。 传感器静态灵敏度应符合本规程表 1 中第 1 项技术要求。 6 . 2 . 2 . 3 静态幅值线性度的 检定 传感器幅值线性

18、度检定与第 6 . 2 . 2 . 2 条静态灵敏度检定同时进行 ， 上、下限值在内的 3 次上行程的检测点数据，用最小二乘法 式 ( 1 ) , 出 U与I I 之间的最大差值5 ,- , a m 。 二 = ( 认一11 i ) . - 则幅值线性度偏差按式 ( 5 )计算 检定数据取包括 ( 2 ) , ( 3 ) 计算 ( 4 ) S , = 擎 、 1 0 0 % UN ( 5 ) J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 式中:S , 幅值线性度; U满量程时传感器的输出。 其幅值线性度最大偏差应符合本规程表 1 中第2 项技术要求。 6 . 2 . 2 . 4 回程误差 回程误

19、差的检定与第 6 . 2 . 2 . 2条静态灵敏度检定同时进行，其 回程误差按式 ( 6 ) 计算 : U一U,. a .二x1 以) % U ( 6 ) 式中:8h(第 i 个测量点上的回 程误差; 瓦 : 第 i 个测量点上3 次上行程传 感器输出值的 算术平均值; 云 、 第 i 个测 量点上3 次下行程传感器输出值的算术平均值; U , 满量程时传感器的 输出值。 其回程误差应符合本规程表 1 中第 3 项技术要求。 6 . 2 . 2 . 5 幅值重复性 幅值重复性的检定与第6 . 2 . 2 . 2 条静态灵敏度检定同时进行，由 3 次循环 中同一行 程的同一测量点的 3 次测量

20、的传感器输出值， 得出相互间的最大差值 。 r ，然后按式 ( 7 )计算幅值重复性: a , = 粤 10 0 % ( 7 ) 式中:或 t 第 i 个测量点的。 ， 值; a ,; 第 i 个测量点的幅值重复性; U N 满量程时传感器的输出值。 其幅值重复性应符合本规程表 1 中第 4 项技术要求。 6 . 2 . 2 . 6 零值误差 把传感器安装在位移静校器上，在工作状态下将位移传感器置于零点 ( 起始工作 点) ，用示波器测出传感器的噪声信号，再与满量程时传感器的输出信号之比，即为传 感器的零值误差。其检定结果应符合本规程表 1 中第 5 项技术要求。 6 . 2 . 2 . 7

21、动态参考灵敏度的检定 对于测量中用支架固定的传感器，在检定中要用适合的支架将被检传感器固定在标 准振动台台面垂直方向上的合适位置，并确保支架及传感器非活动部分与振动台台体之 间不产生相对运动;对于测量中不用支架固定 ，可直接安装在被测振动体上的传感器， 在检定中应将被检传感器刚性地安装在标准振动台台面上。 用标准加速度计监控振动台，在被检传感器的动态范围内，选取某一实用的频率值 推荐 ( 2 0 , 4 0 , 8 0 , 1 6 0 ) H z 和某一指定 的位移值 推荐 ( 0 . 1 , 0 . 2 , 0 . 5 , 1 . 0 , 2 . 0 , 5 . 0 ) m m 进行检定，其

22、被检传感器的输出值与振动台的位移值之比为该传感器 的动态参考灵敏度。动态参考灵敏度按式 ( 8 )计算: 。U 1 , = 二 屯 u ( 8 ) .T J G 6 4 4 - 2 0 0 3 式中:S d 位移传感器的动态参考灵敏度; U 参考点处传感器的输出值; D 参考点处的振动位移值。 其动态参考灵敏度应符合表 1 中的第 8 项技术要求。 6 . 2 . 2 . 8 频率响应的检定 传感器的安装方法同第 6 . 2 . 2 . 7条，在传感器的动态范围内，均匀地选取不少于7 个频率值 ( 包括上、下限值) ，在保持振动台位移恒定的情况下，测量各频率点传感器 的输出值，并计算出各点的动

23、态位移灵敏度，然后按式 ( 9 )计算各测量点灵敏度与动 态参考灵敏度的相对偏差: 、 = 201g一Sd;Sd ( 9 ) 式中 : 8 f 第l 个 频 率 点的 动态 灵 敏 度 与 动 态 参考 灵 敏 度的 相 对 偏 差; S d f 第 i 个频率点的动态灵敏度; S d 动态参考灵敏度。 其频率响应最大偏差应符合本规程表 1 中的第9 项的技术要求。 6 . 2 . 2 . 9 动态幅值线性度的检定 被测传感器的安装方法同第 6 . 2 . 2 . 7 条，在传感器的频率范围内选取某一实用的频 率值，并在校准振动台可达到的振动位移幅值内选取 5 个位移值进行激振 ，分别测量各

24、位移点的传感器输出值和振动台的位移幅值，计算出各测量点传感器的动态位移灵敏 度，然后按式 ( 1 0 )计算各测量点灵敏度与动态参考灵敏度的相对偏差: a l l , X 1 0 0%( 1 0 ) S一 5 S一 式中: S d , 第 i 个位移点的动态灵敏度与参考动态灵敏度的 相对偏差; S d 第 i 个位移点的 动态位移灵敏度; S d 参考动态灵敏度。 其幅值线性度最大偏差应符合本规程表 1 中第 1 0 项的技术要求。 6 . 3 检定结果处理 经检定符合本规程要求的传感器发给检定证书，检定证书内页格式见附录 B ;经检 定不符合本规程要求的发给检定结果通知书，检定结果通知书内页

25、格式见附录 C ，注明 不合格项。 6 . 4 检定周期 传感器的检定周期一般不超过 1 年。 J万 G b 4 4 - 2 州 1 3 附录 A 定型鉴定、样机试验方法 1 . 表 2中第 1 一 6 项和第 9 一1 1 项检定分别按本规程第 6 . 2 . 2 . 1 一 6 . 2 . 2 . 9 条检定方法进 行。 2 . 温漂 将传感器安装在位移静校器上 ，并将测量距离调至于传感器的线性中点，将传感器 放至温箱内，温箱温度以 2 0 为基准，按每 2 0 间隔为一个测量点，升高或降低温箱 温度，直至传感器允许使用的温度上限或下限，每个温度测量点需恒温 1 5 m i n ，然后读

26、取传感器的输出值并按式 ( 1 1 )计算温度每改变 1 时传感器输出值变化的相对量: U. 一 U . a ,i = ( t i - 2 0 ) ; x 1 0 0% ( 1 1 ) 式中: a , i 第 i 个温度测量点传感器的温度变化量; t 第 i 个温度测量点的温度值; U , i 第 i 个温度测量点传 感器的输出 值; U m 在室温时传感器的输出值; U ,v 满量程时传感器的输出值。 其检定结果应符合本规程表 1 中第 6 项技术要求。 3 幅值稳定度的检定 传感器在室温下检测，将传感器安装在位移静校器上，并将测量距离调至于传感器 的线性中点 ， 接通电源预热 1 h ，开

27、始测量传感器的输出值，每隔 2 h 测量 1 次，至少连 续测量 2 4 h ，然后按式 ( 1 2 )计算幅值稳定度: S , = 式中:S传感器的幅值稳定度; U_ _一U_ : _ - - 二 竺 竺 二 一 一 一 一 - -x 1 0 0 % u . ( 1 2 ) U m -2 4 h 内 传感器的 输出 最大值; U m ; n -2 4 h 内传感器的 输出最小值; U N 满量程时 传感器的输出 值。 其检定结果应符合本规程表 1 中第 7 项技术要求。 4 环境适应性试验 : ( 1 )湿度试验 按 J B / 1 9 3 2 9 -1 9 9 9中第 4 . 3 条的试验

28、方法进行湿度试验。 ( 2 )跌落试验 按 J B / 1 9 3 2 9 -1 9 9 9中第 4 . 5 条的试验方法进行跌落试验。 .T J G 6 4 4 - 2 0 0 3 附录 B 检定证书内页格式 振动位移传感器检定结果 1外观: 2 . 静态指标: 1 )位移灵敏度:( / m m ) ; 2 )幅值线性度 :%; 3 )回程误差:%; 4 )幅值重复性:%; 5 )零值误差 :%。 3 . 动态指标: 1 )参考位移灵敏度:( / m m ) ( 在频率为H z ，位移为二 时) ; 2 )频率响应:%，(H z 一H z ) ; 3 )幅值线性度 :%，(m m一m m 4 . 其他 检定结果 :可作 为使用 。 检定环境条件: _温度 注:下次检定请带此证书。 ;相对湿度 J J G 6 4 4 - 2 0 0 3 附 录 C 检定结果通知书内页格式 振动位移传感器检定结果 经检定不合格项目列人下表 序 号检定项 目规程指标实测指标备 注 检定环境条 件 :温度;相对湿度