GB-T 10624-1995高纯氩
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1、中华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 G B T 1 0 6 2 4 一 1 9 9 5 高纯氮 Hi g h p u r i t y a r g o n 代替 G B GR 1 0 6 2 4 8 9 1 0 6 2 5 8 9 1 主题内容与适用范围 本标准规定了高纯氢的技术要求 检验方法 检验规则以及标志 包装 运输 贮存 本标准适用于以深冷法从空气 合成氨尾气中提取的气瓶包装的高纯气态氢 高纯氢主要用作半导体工业 稀有金属 有色金属的冶炼 焊接中的保护气 特种灯泡的充填气 气 相色谱分析用载气及配制标准气的底气等 分子式 A r 相对分子质量 3 9 9 4 8 按 1 9 9 1
2、 年国际相对原子质量 2 9 1 用标准 G B 1 9 危险货物包装标志 G B 5 0 9 9 钢质无缝气瓶 G B T 5 8 3 2 1 气体中微量水分的测定 电解法 G B T 5 8 3 2 2 气体中微量水分的测定 露点法 G B T 6 2 8 5 气体中微量氧的测定电化学法 G B 7 1 4 4 气瓶颜色标记 G B T 8 9 8 1 气体中微量氢的测定 气相色谱法 G B T 8 9 8 5 气体中一权化碳 二氧化碳和碳氢化合物总含量的测定 气相色谱法 3 技术要求 高纯氢的质量应符合下表的要求 项目 指标 优等品一级品合格品 氢纯度 1 0 9 9 9 9 9 69
3、9 9 9 9 39 9 9 9 9 氮含量 1 0 24 5 氧含量 1 112 氢含量 1 0 簇 0 511 总碳含量 以甲 烷计 1 一 0 51 2 水分 1 0 成 12 6 4 注 表中纯度和含量为体积分数 表中缸纯度未扣除水分含量 国家技术监督局 1 9 9 5 一 1 2 一 2 0 批准1 9 9 6 一 0 8 一 0 1 实施 G B T 1 0 6 2 4 一1 9 9 5 4 检验方法 4 1 式中 纯度 氢的纯度按下式计算 w 1 0 0一 A 妈 外 P O X l o 1 一氢的纯度 体积分数 1 0 9 1氮的含量 体积分数 1 0 u 氧的含量 体积分数
4、1 0 s 9 11 氢的含量 体积分数 1 0 6 w 总碳含量 体积分数 l o s 4 2 氮含量的测定 4 2 1 方法和原理 采用气相色谱法 电子迁移检测 单原子的氢载气将样品气带入色谱柱内进行分离 分离后从柱内流出的双原子 如N z 或多原子 如C H 分子组分进入设置有氮源的电子迁移检测器时 检测器中的自由电 子与这些组分的分子进行 非弹性碰撞 电子就失去了能量 电子沿阳极方向上的迁移速度就增大 捕集的电子就多 电流就增加 在选定适宜的温度 压力 电场强度下 电流的增加与组分含量 在一定范围内 成正比 由 此测定氮组分 的含量 4 2 2 分析仪器 采用电 子迁移气相色谱仪 要求
5、对氮的检测限应小于0 5 x 1 0 6 含氮量在l o x 1 0 以下呈线性响 应 以氢气为载气 净化后含氮量应小于 2 x 1 0 6 电子迁移气相色谱仪示意流程如图1 所示 图 1 气相色谱仪示意流程图 1 一 载气气瓶 z 一针形阀 3 一纯化器1 4 一六通阀 5 量管 6 一色谱柱 7 检侧器 8 一流最计 4 2 3 分析前的准备工作 4 2 3 1 色谱柱的准备 将色谱分析用的2 5 0 6 0 0 p m 1 3 X分子筛装入内径4 m m 长1 2 0 cm不锈钢管内 于3 0 0 通氢气 活化 3 h e 4 2 3 2 纯化器的准备 将约1 5 0 g 2 5 0 4
6、 0 0 p m的错铝一 1 6 合金装入不 锈钢纯化器中 于7 5 0 C 活化2 5 h 错铝一 1 6 合金可以多次活化 反复使用 直至失效 纯化器活化周期 仪器常开 一季度活化一次 仪器不常开 半年至一年活化一次 4 2 3 3 仪器试漏 色i I 系 统中 的阀门 和所有 接头处 应无泄 漏 否 则由 于空 气中 的 氮组分 渗入而使测量 结果不准 所以 G B T 1 0 6 2 4 一 1 9 9 5 必须对系统进行严格的试漏 其方法如下 先将整个色谱系统用氢气升压至0 1 5 MP a 保压4 h 如压力表示值不变 则阀门和接头气密性良 好 若压力表示值随保压时间延长而逐渐减少
7、 则阀门和接头有微小渗漏 需拧紧阀门固定螺丝及各气 路接头 重新保压试验至示值不变为止 4 2 3 4 取样设备 e 取样阀 用死体积小的针形阀 b 取样管 一般采用长1 5 m左右 内径小于2 m m的不锈钢管或铜管 洗净吹干 4 2 4 测定 4 2 4 1 仪器启动 按仪器说明书启动仪器 按分析要求选定操作条件 4 24 2 样品分析 待仪器基线稳定后 分别将待测样品气和标准气 配制以氢气为底气的气瓶装氮标准气 含氮量 3 X 1 0 5 X 1 0 用针形阀及金属管道连接到仪器的 样品 入口 处 采用三次升 降压法置换吹洗瓶 阀 针形阀及其管道 用针形阀按说明书调节流量 然后切换六通阀
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